無塵車間的特性
1、無塵車間是空氣的潔凈度達(dá)到一定級(jí)別的可供人活動(dòng)和生產(chǎn)的空間,其功能是能控制微粒的污染。這表明無塵車間的潔凈不是一般的干凈,而是達(dá)到了一定的空氣潔凈度級(jí)別,在我國(guó)制藥行業(yè),凈化車間必須具有控制微粒污染、抵抗外界干擾的能力。
2、無塵車間是一個(gè)多功能的綜合整休,多功能體現(xiàn)在以下兩個(gè)方面:
(1)多專業(yè)--建筑、空調(diào)、凈化、純水、純氣。
(2)多參數(shù)--空氣潔凈度、細(xì)菌濃度以及空氣的量(風(fēng)量)、壓(壓力)、聲(噪聲)、光(照度)。
無塵車間生產(chǎn)對(duì)于濕度控制是非常重要的條件之一,無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對(duì)濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
潔凈室應(yīng)設(shè)型的人、貨運(yùn)物流安全通道。工作人員應(yīng)按照規(guī)定的清潔程序流程進(jìn)到,并應(yīng)嚴(yán)控總數(shù)。針對(duì)原材料可在去除塵土后拆掉業(yè)務(wù)外包根據(jù)緩沖間或傳送柜送進(jìn)。不一樣清潔級(jí)別的潔凈區(qū)物件則根據(jù)不銹鋼傳遞窗傳輸。正中間站宜建在中心部位,便于減少運(yùn)輸間距。清潔區(qū)域內(nèi)不設(shè)與本職位不相干的管道。靈活運(yùn)用左右或周邊的技術(shù)性?shī)A層,全部公共管道、加工工藝管道的主桿管均在技術(shù)性?shī)A層安裝。穿越重生路面、隔斷墻的管道盡量挨近應(yīng)用點(diǎn)并鋪設(shè)套管,套管內(nèi)的管道不應(yīng)有焊接,管道與套管中間應(yīng)有可叉的密封性對(duì)策。進(jìn)到潔凈室的管道應(yīng)是金屬材質(zhì)。