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光學微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計之密閉空間。
凈化車間的潔凈度級別通常分為：百級、千級、萬級、十萬級和三十萬級。十萬級凈化車間一般適用于電子儀器儀表、計算機房、半導(dǎo)體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻和微機制造等行業(yè)中。十萬級凈化車間的要求不僅僅是需要空氣潔凈度為十萬級，還需要保證能達到除靜電的效果。在十萬級凈化車間中，塵粒1大允許數(shù)≥0.5微米的粒子數(shù)不允許超過350萬個；換氣次數(shù)：10-15次/小時；壓差：主車間相對相鄰房間≥5pa；溫度：冬季＞16℃±2℃；夏季小于26℃±2℃；相對濕度：45-65%（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風補充量：總送風量的20%-30%；照度大于等于300Lux。
無塵車間的關(guān)鍵設(shè)計特性： 1、依據(jù)無塵車間制造的商品的類型、應(yīng)用狀況，明確設(shè)計無塵車間的操縱目標及技術(shù)規(guī)定。如對微生物無塵車間，其操縱目標是空氣中的塵粒、微生物；而不一樣商品或主要用途的無塵車間，對空氣潔凈室等級、空氣中帶有的微生物類型和濃度值、壓力差等的規(guī)定是不一樣的。 2、為保證無塵車間內(nèi)所務(wù)必的空氣潔凈度等級，無塵車間設(shè)計中涉及的每個技術(shù)專業(yè)設(shè)計均應(yīng)采用妥當?shù)摹⒖孔V的技術(shù)對策，以降低或避免房間內(nèi)粉塵、滋長微生物，降低或阻攔將顆粒/微生物或?qū)?dǎo)致交叉式環(huán)境污染的原材料帶到無塵車間內(nèi)，合理地將房間內(nèi)顆粒/微生物排出來，以降低或避免他們停留在無塵車間內(nèi)。針對因塵粒/微生物或原材料的交叉式環(huán)境污染會傷害產(chǎn)品品質(zhì)或生命安全時，還應(yīng)采用安全性、靠譜的技術(shù)對策避免感1染，如嚴控不一樣主要用途的無塵車間中間的負壓差，按規(guī)定有效地區(qū)劃空調(diào)凈化排風系統(tǒng)軟件及其送風系統(tǒng)軟件、家用新風系統(tǒng)的妥當設(shè)計等。 3、無塵車間設(shè)計是各工業(yè)生產(chǎn)設(shè)計技術(shù)規(guī)定的綜合性，特別是在是無塵車間的加工工藝設(shè)計、工程建筑設(shè)計、空氣清潔設(shè)計和各種各樣特別要求的設(shè)計技術(shù)的緊密協(xié)作、互相滲入和科學安排的綜合性設(shè)計。無塵車間應(yīng)保證依照生產(chǎn)流程、有效挑選油煙凈化器和設(shè)備、竭盡全力保持人1流和貨運物流的暢順短捷、氣旋流型挑選恰當、空調(diào)凈化系統(tǒng)設(shè)置有效、各種各樣特別要求的技術(shù)對策恰當，無塵車間的平面圖、中央空調(diào)布局有效，保持靠譜經(jīng)濟形勢的無塵車間設(shè)備。
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