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凈化車間施工過程中需要注意的方面：
1、首先確認(rèn)施工工程的設(shè)計(jì)圖紙和要求，形成合理的方案。各個(gè)部門之間要相互溝通，研究作業(yè)過程中必須注意的事項(xiàng)。
2、檢查施工過程中所有的用的材料，設(shè)備是否達(dá)到所需要的標(biāo)準(zhǔn)，檢查合格后方可使用。
3、施工過程中注意施工進(jìn)度及質(zhì)量，施工檢查記錄表和施工驗(yàn)收記錄應(yīng)及時(shí)填寫，文件與工程要同步。
4、凈化車間施工過程要有先后順序，可以同時(shí)施工但是要注意彼此之間的關(guān)系，不能有什么材料就先施工那部分。
6、所有的材料應(yīng)該有防雨雪等措施，防止材料氧化腐朽，重要的器材要設(shè)置專門的保護(hù)區(qū)。
5、嚴(yán)格執(zhí)行施工管理制度，現(xiàn)場要做好安全防護(hù)以及所有施工人員的安全培訓(xùn)。
6、節(jié)能環(huán)保，在凈化車間施工過程中，運(yùn)輸、儲存、施工過程中，禁止嚴(yán)禁污染環(huán)境。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
無塵車間也叫凈化車間、凈化室、潔凈室，就是指將一定室內(nèi)空間范圍內(nèi)之空氣中的塵粒、危害空氣、病菌等之空氣污染物清除，并將房間內(nèi)之溫度、潔凈度、房間內(nèi)工作壓力、氣流速度氣流遍布、噪聲震動(dòng)及照明燈具、靜電感應(yīng)操縱在某一要求范圍內(nèi)，而所給與非常設(shè)計(jì)方案之屋子。亦就是無論外在之空氣標(biāo)準(zhǔn)怎樣轉(zhuǎn)變，其房間內(nèi)均能俱有保持原來所設(shè)置規(guī)定之潔凈度、溫度濕度及工作壓力等特性之特點(diǎn)。針對無塵車間，人們要掌握生產(chǎn)車間的主要用途、生產(chǎn)工藝流程，針對無塵車間的空氣潔凈度、溫度、環(huán)境濕度等規(guī)定。次之要充足掌握無塵車間的各功能分區(qū)的區(qū)劃，以明確各生產(chǎn)工藝流程的空氣潔凈度級別和各種各樣主要參數(shù)規(guī)定。
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