光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
無(wú)塵凈化車間的空調(diào)機(jī)組的選擇:1.空調(diào)機(jī)組要根據(jù)末端需要的冷量總數(shù)得出空調(diào)機(jī)組的冷量。2.末端空調(diào)箱的選擇就要根據(jù)潔凈等級(jí)風(fēng)量還有房間內(nèi)消防熱負(fù)荷風(fēng)量來(lái)確定送風(fēng)量。 空調(diào)機(jī)組選型步驟:A.估算或計(jì)算冷負(fù)荷估算總冷負(fù)荷,或通過(guò)有關(guān)的負(fù)荷計(jì)算法進(jìn)行計(jì)算。B.估算或計(jì)算熱負(fù)荷估算總熱負(fù)荷,或通過(guò)有關(guān)的負(fù)荷計(jì)算法進(jìn)行計(jì)算。C.初定機(jī)組型號(hào)根據(jù)總冷負(fù)荷,初次選定機(jī)組型號(hào)及臺(tái)數(shù)D、確定機(jī)組型號(hào)根據(jù)總熱負(fù)荷,校核初定的機(jī)組型號(hào)及臺(tái)數(shù)。并確定機(jī)組型號(hào)。
無(wú)塵車間潔凈室氣流流型的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1、無(wú)塵車間潔凈室的氣流流型和送風(fēng)量應(yīng)符合下表所示的要求,空氣潔凈度等級(jí)要求嚴(yán)于4級(jí)時(shí),應(yīng)采用單向流,空氣潔凈度等級(jí)為4級(jí)-5級(jí)時(shí),應(yīng)采用單向流,空氣潔凈度等級(jí)為6級(jí)-9級(jí)時(shí),應(yīng)采用非單向流。2、無(wú)塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻3、無(wú)塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)符合生產(chǎn)工藝要求。