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光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計之密閉空間。
隨著現(xiàn)代化生產(chǎn)的發(fā)展及工業(yè)技術(shù)的升級換代，對于無塵清潔生產(chǎn)及其環(huán)境的要求越來越高，比如無塵車間要求車間地坪要耐腐蝕、潔凈和耐磨，室內(nèi)空氣含塵量盡量的低，有很多無塵車間凈化廠房，還要求地面具備防靜電和防1菌抑菌性能。除了工業(yè)生產(chǎn)凈化廠房對室內(nèi)凈化程度要求外，很多科研、教學(xué)、實驗、醫(yī)院也對室內(nèi)空氣凈化程度有很高要求。
根據(jù)美國施行的規(guī)范，可將無塵車間分成六級。各自是一級、十級、百級、千級、萬級、十萬級：一級≥百級≥萬級≥千級≥十萬級≥上百1萬級。越排前，級別越高，一級是級別1大的。普遍的是百級到十萬級。一級的無塵車間主要用于制造集成電路芯片的電子光學(xué)工業(yè)，對集成電路芯片的精準規(guī)定為亞μm。十級的無塵車間主要用于網(wǎng)絡(luò)帶寬低于2μm的半導(dǎo)體材料工業(yè)。百級是常見的。因而是關(guān)鍵的無塵車間，大家經(jīng)常不正確地將百級凈化室稱之為無菌車間，以表明“無菌檢測”的或“潔凈”的自然環(huán)境規(guī)定，百級潔凈室可用于藥業(yè)工業(yè)的無菌檢測制造加工工藝等，這一凈化室很多應(yīng)用于，植如身體物件的制造，手術(shù)，包含移植術(shù)，集成器的制造，這些對細菌1性1感1染比較敏感的患者的防護醫(yī)1治，例如像骨1髓移植患者手術(shù)后的防護醫(yī)1治。千級的無塵車間主要用于電子光學(xué)商品的生產(chǎn)制造，還用于檢測，裝配線飛機場蛇螺儀，裝配線微型軸承等。千級無塵車間用于液壓機械或標準氣壓機器設(shè)備的裝配線，一些狀況下也用于食品工業(yè)工業(yè)，除此之外，千級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常見。十萬級無塵車間用于許多的工業(yè)單位，例如電子光學(xué)商品的制造，用于較小的電子器件制造大中型的電子技術(shù)，液壓機或標準氣壓系統(tǒng)軟件的制造，食品工業(yè)的生產(chǎn)制造，醫(yī)1藥工業(yè)也經(jīng)常應(yīng)用這一級無塵車間。
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