光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
根據(jù)美國施行的規(guī)范,可將無塵車間分成六級(jí)。各自是一級(jí)、十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí):一級(jí)≥百級(jí)≥萬級(jí)≥千級(jí)≥十萬級(jí)≥上百1萬級(jí)。越排前,級(jí)別越高,一級(jí)是級(jí)別1大的。普遍的是百級(jí)到十萬級(jí)。一級(jí)的無塵車間主要用于制造集成電路芯片的電子光學(xué)工業(yè),對(duì)集成電路芯片的精準(zhǔn)規(guī)定為亞μm。十級(jí)的無塵車間主要用于網(wǎng)絡(luò)帶寬低于2μm的半導(dǎo)體材料工業(yè)。百級(jí)是常見的。因而是關(guān)鍵的無塵車間,大家經(jīng)常不正確地將百級(jí)凈化室稱之為無菌車間,以表明“無菌檢測”的或“潔凈”的自然環(huán)境規(guī)定,百級(jí)潔凈室可用于藥業(yè)工業(yè)的無菌檢測制造加工工藝等,這一凈化室很多應(yīng)用于,植如身體物件的制造,手術(shù),包含移植術(shù),集成器的制造,這些對(duì)細(xì)菌1性1感1染比較敏感的患者的防護(hù)醫(yī)1治,例如像骨1髓移植患者手術(shù)后的防護(hù)醫(yī)1治。千級(jí)的無塵車間主要用于電子光學(xué)商品的生產(chǎn)制造,還用于檢測,裝配線飛機(jī)場蛇螺儀,裝配線微型軸承等。千級(jí)無塵車間用于液壓機(jī)械或標(biāo)準(zhǔn)氣壓機(jī)器設(shè)備的裝配線,一些狀況下也用于食品工業(yè)工業(yè),除此之外,千級(jí)無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常見。十萬級(jí)無塵車間用于許多的工業(yè)單位,例如電子光學(xué)商品的制造,用于較小的電子器件制造大中型的電子技術(shù),液壓機(jī)或標(biāo)準(zhǔn)氣壓系統(tǒng)軟件的制造,食品工業(yè)的生產(chǎn)制造,醫(yī)1藥工業(yè)也經(jīng)常應(yīng)用這一級(jí)無塵車間。
無塵車間的室內(nèi)裝修是一個(gè)十分具備專業(yè)性的工作中,它務(wù)必具有很好的潔凈度,有一些地區(qū)還必須具備防火安全防污、隔熱保溫等規(guī)定,因而無塵車間在室內(nèi)裝修時(shí)必須有對(duì)這一制造行業(yè)具備極高掌握水平的專業(yè)人員,專業(yè)人員還必須對(duì)常用的原材料有十分深層次的掌握,那樣才能夠 保證真實(shí)實(shí)際意義上的“潔凈”。在車間內(nèi)理應(yīng)設(shè)定原料間、制做間、半成品加工儲(chǔ)放間、包裝間、庫房、檢測實(shí)驗(yàn)室、存儲(chǔ)間,這種室內(nèi)空間都必須采用一萬級(jí)空氣凈化規(guī)范,別的試驗(yàn)室、罐裝間更衣間等必須采用十萬級(jí)空氣凈化規(guī)范,每個(gè)取貨封閉式單獨(dú),避免交叉式環(huán)境污染,保證全部護(hù)膚品安全性零污染,確保商品zui好質(zhì)量。