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凈化車間的優(yōu)勢。1、多功能性凈化車間是一個多功能綜合整體，體現(xiàn)在以下兩個方面：（1）專業(yè)性高：專業(yè)的凈化設(shè)施，包括凈化空調(diào)等，可以達到凈化水氣體的作用。（2）多參數(shù)：空氣潔凈度、細菌濃度、風量、壓力、噪音和照明燈都可以在車間內(nèi)展示出來。2、良好的潔凈性能不吸塵，適用于光電凈化車間墻體，節(jié)約能源，保護環(huán)境。3、質(zhì)量好設(shè)計、施工和運營管理對凈化車間的質(zhì)量非常重要，占據(jù)了位。凈化車間的設(shè)計到管理的整個過程，都是一體化進行的，從而保證了凈化的質(zhì)量。4、施工方便10-14 kg / m2，相當于磚墻的1/30，通常使用50mm厚的膠合板來搭建車間的隔墻和屋頂。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
萬級凈化車間規(guī)范包含以下幾點：1、細顆粒物較大容許數(shù)(每立方);2、大或相當于0.5微米的粒子數(shù)不可超出350000個，大或相當于5微米的粒子數(shù)不可超出2000個;3、微生物菌1種較大容許數(shù);4、菌數(shù)不可超出一百個每立方;5、菌數(shù)不可超出三個每培養(yǎng)液。6、壓差：同樣潔凈室等級的潔凈室壓差保持一致，針對不一樣清潔級別的鄰近潔凈室中間壓差要≥5Pa，潔凈室和非潔凈室中間要≥10Pa。千級凈化車間對溫度、環(huán)境濕度無特別要求時，以衣著潔凈服不造成舒適感為宜，溫度一般操縱在冬天20~22℃;夏天24~26℃;起伏±2℃。冬天潔凈室環(huán)境濕度操縱在30-50%，夏天潔凈室環(huán)境濕度操縱在50-70%。7、配電設(shè)備：潔凈室(區(qū))的關(guān)鍵生產(chǎn)制造用地一般光照強度值宜≥300Lx;輔助個人工作室、工作人員清潔和原材料清潔用室、氣閘室、過道等的光照強度值宜為200~300Lx。
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