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光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
凈化車(chē)間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。
千級(jí)無(wú)塵車(chē)間代表什么意思? 每立方將低于0.5μm粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個(gè)下列，就做到了國(guó)際性潔凈標(biāo)準(zhǔn)的A1級(jí)?，F(xiàn)階段運(yùn)用在芯片級(jí)生產(chǎn)制造的潔凈標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)塵土的規(guī)定高過(guò)A1級(jí)，那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運(yùn)用在一些級(jí)別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個(gè)之內(nèi)，這也就是說(shuō)業(yè)界別名級(jí)別中的千級(jí)。 千級(jí)無(wú)塵車(chē)間的標(biāo)準(zhǔn)，微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個(gè)之內(nèi)，這也就是說(shuō)業(yè)界千級(jí)無(wú)塵車(chē)間的含意。（1000級(jí)的定義是：每立方英寸內(nèi),大于0.5的塵土顆粒物不可以超出1000顆）。 無(wú)塵車(chē)間級(jí)別標(biāo)準(zhǔn)劃分 潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644依據(jù)飄浮粒子濃度值這唯1指標(biāo)值來(lái)劃分凈化室(區(qū))及有關(guān)控制計(jì)劃自然環(huán)境中氣體潔凈度等級(jí)的級(jí)別，而且僅考慮到粒度限制值(下限)0.1um～0.5um范圍之內(nèi)總計(jì)遍布的粒子群。
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