一、什么是無(wú)塵凈化車(chē)間。凈化車(chē)間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)建成的無(wú)塵潔凈房間。
二、無(wú)塵凈化車(chē)間的原理。凈化車(chē)間是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而凈化車(chē)間內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,即無(wú)法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
三、無(wú)塵凈化車(chē)間中的三塵。無(wú)塵凈化車(chē)間有三大原則:禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的凈化設(shè)備之一,它可以大限度地減少員工進(jìn)出無(wú)塵潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。風(fēng)淋室的兩道門(mén)電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無(wú)塵潔凈區(qū)域,達(dá)到生產(chǎn)車(chē)間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。
在JIS標(biāo)準(zhǔn)下,無(wú)塵室清潔度,共分為8個(gè)等級(jí)
一般清潔度是指空氣的潔凈等級(jí),分為等級(jí)1、2???8,8階段。在1立方公尺的空氣中,粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為等級(jí)1;百個(gè)以下是100=102是等級(jí)2;千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級(jí)3,一次類(lèi)推。
21世界,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,無(wú)塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕度的變化對(duì)商品的完成度亦造成極大的危害,導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的要求,環(huán)境無(wú)塵化的需求也日益提高。因此在無(wú)塵室中使用防塵材料及商品都顯得格外重要。
所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng),也增加了對(duì)制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線(xiàn)時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線(xiàn)形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線(xiàn)上,可能將其腐蝕,所以無(wú)塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
濰坊無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫
度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而
所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要
求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
工作人員產(chǎn)生的污染:
1)皮膚:人類(lèi)通常每四天完成一次皮膚的完全脫換,人類(lèi)每分鐘脫落約1000片皮膚(平均大小為
30*60*3微米)
2)頭發(fā):人類(lèi)的頭發(fā)(直徑約為50~100微米)一直在脫落。
3)口水:包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4)日常衣物:微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細(xì)菌。
5)人類(lèi)靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。
6)人類(lèi)在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
7)人類(lèi)以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。