所謂無塵車間是一個人造環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,隨著集成店里的級數(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,集成店里積度不斷增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時,就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成店里制造不可或缺的要素。
無塵車間系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間,將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,通過循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過超過濾網(wǎng)或過濾后。